治理工藝

項目廢氣主要來源于清洗、CVD、光刻、濕法刻蝕、去膠及擴散等工藝。有機廢氣成分復雜，包含異丙醇、丙酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、N-甲基-2-吡咯烷酮等，并含有少量高沸點物質(zhì)和含硅有機物。為了有效應對上述廢氣問題，本項目采用“高效過濾+沸石轉(zhuǎn)輪吸附+TO”工藝進行治理。本工藝廢氣處理效率超過95%，同時具有安全性高、運行穩(wěn)定、運行成本及故障率低、自動化程度高、運行管理方便等優(yōu)點。

2024年9月有機廢氣凈化系統(tǒng)開始切入使用，投入既達滿產(chǎn)狀態(tài)。設(shè)備運行穩(wěn)定，處理效果良好，煙囪出口在線檢測系統(tǒng)所測得的非甲烷總烴濃度在5~10mg/m3范圍內(nèi)，滿足 《廈門市大氣污染物排放標準》 （DB35/323-2018）中表1的排放標準。